Vorrichtung und Verfahren zum Reparieren eines Defekts einer Optischen Komponente für den Extrem Ultravioletten Wellenlängenbereich

WO2021156380 Art A1 12. August 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021156380
Aktenzeichen: EP21703456
Anmeldetag: 4. Februar 2021
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24G03F1/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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