Vibration damping and resonance reduction for ion pump

WO2021156387 Art A1 12. August 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021156387
Aktenzeichen: EP21703685
Anmeldetag: 4. Februar 2021
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J41/12F16L23/032

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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