Surge Protection in A Multi-Stage Vacuum Pump

WO2021156615 Art A1 12. August 2021

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021156615
Aktenzeichen
EP21704909
Anmeldetag
4. Februar 2021
Veröffentlichung
12. August 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D29/70F15C1/00F15D1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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