Control valve, substrate treatment device, and method for manufacturing semiconductor device

WO2021156934 Art A1 12. August 2021

Anmelder: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021156934
Aktenzeichen: EP20917353
Anmeldetag: 4. Februar 2020
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F16K3/00F16K51/02F16K1/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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