Radiation-sensitive resin composition and method for forming resist pattern

WO2021157354 Art A1 12. August 2021

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021157354
Aktenzeichen: EP21750426
Anmeldetag: 20. Januar 2021
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C08F12/02C08F20/12G03F7/004G03F7/039G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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