Non-orthogonal target and method for using the same in measuring misregistration of semiconductor devices

WO2021158255 Art A1 12. August 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021158255
Aktenzeichen
EP20917576
Anmeldetag
25. Juni 2020
Veröffentlichung
12. August 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/26G01B11/14G03F7/20H01L21/66H01L23/544
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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