Reticle gripper damper and isolation system for lithographic apparatuses

WO2021160423 Art A1 19. August 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V., ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021160423
Aktenzeichen: EP21703613
Anmeldetag: 26. Januar 2021
Veröffentlichung: 19. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML HOLDING N.V.
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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