Contour Extraction Method From Inspection Image in Multiple Charged-Particle Beam Inspection

WO2021160436 Art A1 19. August 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021160436
Aktenzeichen: EP21702618
Anmeldetag: 27. Januar 2021
Veröffentlichung: 19. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06T5/00G06T5/50G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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