Defect detection device, defect detection method, and defect correction device

WO2021161646 Art A1 19. August 2021

Anmelder: V TECHNOLOGY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021161646
Aktenzeichen
EP20918693
Anmeldetag
16. Dezember 2020
Veröffentlichung
19. August 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/13G01N21/27G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V TECHNOLOGY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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