Wafer processing system, automatic leveling device for semiconductor machine table, and leveling method therefor

WO2021164771 Art A1 26. August 2021

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021164771
Aktenzeichen: EP21758002
Anmeldetag: 20. Februar 2021
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/683H01L21/687G01C9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

2.637 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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