Verfahren zum Betreiben einer Optischen Anordnung für die Euv-Lithographie und Optische Anordnung für die Euv-Lithographie

WO2021165078 Art A1 26. August 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021165078
Aktenzeichen: EP21704244
Anmeldetag: 8. Februar 2021
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B08B7/00G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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