Measuring local critical dimension uniformity of an array of two-dimensional structural elements

WO2021165941 Art A1 26. August 2021

Anmelder: NOVA LTD., INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021165941
Aktenzeichen: EP21758024
Anmeldetag: 23. Februar 2021
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NOVA LTD.
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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