Defect inspection system, defect inspection method, and method for creating teacher data

WO2021166161 Art A1 26. August 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021166161
Aktenzeichen: EP20920343
Anmeldetag: 20. Februar 2020
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N23/203

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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