Control device, system, lithography device, manufacturing method for article, control method, and program

WO2021166565 Art A1 26. August 2021

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021166565
Aktenzeichen: EP21757910
Anmeldetag: 26. Januar 2021
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H04L12/28H04L29/08G06F13/38G06F13/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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