Treatment fluid and patterning method

WO2021166600 Art A1 26. August 2021

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021166600
Aktenzeichen
EP21756290
Anmeldetag
29. Januar 2021
Veröffentlichung
26. August 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/32H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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