Transistor, electronic device, and method for manufacturing transistor

WO2021166940 Art A1 26. August 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION, TORAY ENGINEERING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021166940
Aktenzeichen
EP21757933
Anmeldetag
17. Februar 2021
Veröffentlichung
26. August 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/786C23C16/36C23C16/42C23C16/50H01L21/31H01L21/316H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
TORAY ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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