Mask data generation method and mask data generation program

WO2021167005 Art A1 26. August 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021167005
Aktenzeichen: EP21757416
Anmeldetag: 18. Februar 2021
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/26G03F1/36G03F1/70G06F30/39

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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