Polymer membrane employing sulfur-initiated chemical vapor deposition (scvd), and method and apparatus for manufacturing same

WO2021167194 Art A1 26. August 2021

Anmelder: KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021167194
Aktenzeichen
EP20920132
Anmeldetag
15. September 2020
Veröffentlichung
26. August 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/448C23C16/453
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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