Reducing Fretting Corrosion in A Gas Discharge Chamber Support Device

WO2021167760 Art A1 26. August 2021

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021167760
Aktenzeichen: EP21707082
Anmeldetag: 26. Januar 2021
Veröffentlichung: 26. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J61/12F16C35/00H01J61/16H01J61/28G03F7/20H01S3/036

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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