Deposition of tellurium-containing thin films
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC., WAYNE STATE UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021167776
- Aktenzeichen
- EP21756574
- Anmeldetag
- 1. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 26. August 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/455C23C16/28C23C16/40C23C16/42C23C16/30C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- APPLIED MATERIALS, INC.
WAYNE STATE UNIVERSITY - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Die Wayne State University ist eine staatliche Universität in Detroit, Michigan, mit breiter medizinischer und naturwissenschaftlicher Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und organische Chemie, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Pharma und Biotechnologie. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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