Photoetching control method and apparatus and storage medium

WO2021169349 Art A1 2. September 2021

Anmelder: SVG TECH GROUP CO., LTD, SOOCHOW UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021169349
Aktenzeichen: EP20921117
Anmeldetag: 28. Oktober 2020
Veröffentlichung: 2. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/362G03F7/20G02B6/00G02F1/1335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SVG TECH GROUP CO., LTD
SOOCHOW UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Soochow University

Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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