Method of and system for processing spectroscopic ellipsometry data
WO2021170995
Art A1
2. September 2021
Anmelder: OXFORD UNIVERSITY INNOVATION LIMITED 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021170995
- Aktenzeichen
- EP21709753
- Anmeldetag
- 24. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 2. September 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/21G01N21/84G01N21/94
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- OXFORD UNIVERSITY INNOVATION LIMITED
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Oxford University Innovation
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