Film formation device, film formation method, and article manufacturing method

WO2021172003 Art A1 2. September 2021

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021172003
Aktenzeichen
EP21759648
Anmeldetag
9. Februar 2021
Veröffentlichung
2. September 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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