Pattern formation method, method for producing electronic device, and actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition

WO2021172111 Art A1 2. September 2021

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021172111
Aktenzeichen
EP21759978
Anmeldetag
16. Februar 2021
Veröffentlichung
2. September 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C07C309/06C07C309/12C07C309/17C07C317/04C07C381/12C08F12/22C08F20/26G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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