Resist composition and method for using resist composition

WO2021172132 Art A1 2. September 2021

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021172132
Aktenzeichen: EP21761930
Anmeldetag: 17. Februar 2021
Veröffentlichung: 2. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/023G03F7/038G03F7/039C07C69/675

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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