Mechatronic spatial atomic layer deposition system with closed-loop feedback control of parallelism and component alignment

WO2021173274 Art A1 2. September 2021

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021173274
Aktenzeichen: EP21759611
Anmeldetag: 23. Januar 2021
Veröffentlichung: 2. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/458C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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