Methods and apparatus for pressure based mass flow ratio control

WO2021173363 Art A1 2. September 2021

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021173363
Aktenzeichen: EP21709856
Anmeldetag: 11. Februar 2021
Veröffentlichung: 2. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G05D11/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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