Generative adversarial networks (gans) for simulating specimen images

WO2021173425 Art A1 2. September 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021173425
Aktenzeichen
EP21761091
Anmeldetag
19. Februar 2021
Veröffentlichung
2. September 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G06T7/00G06T7/11G06T1/00G06K9/62G05B23/02G06N20/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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