Method for controlling a manufacturing process and associated apparatuses

WO2021175527 Art A1 10. September 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021175527
Aktenzeichen: EP21702043
Anmeldetag: 3. Februar 2021
Veröffentlichung: 10. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/762H01L21/20H01L23/00H01L21/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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