Referenzausgasungsprobe und Referenzausgasungssystem

WO2021175574 Art A1 10. September 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021175574
Aktenzeichen: EP21705939
Anmeldetag: 15. Februar 2021
Veröffentlichung: 10. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01M3/00G01M3/20G01M3/22G01F25/00G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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