Dry vacuum pump and method for manufacturing same

WO2021175680 Art A1 10. September 2021

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021175680
Aktenzeichen
EP21706326
Anmeldetag
24. Februar 2021
Veröffentlichung
10. September 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F01C21/10F04C18/08F04C23/00F04C25/02F04C18/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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