End-of-life monitoring of dynamic gas lock membranes and pupil facet mirrors and detection of membrane rupture in lithographic apparatuses

WO2021175797 Art A1 10. September 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021175797
Aktenzeichen: EP21710891
Anmeldetag: 1. März 2021
Veröffentlichung: 10. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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