Collaborative robot system on a mobile cart with a chamber docking system

WO2021178458 Art A1 10. September 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021178458
Aktenzeichen: EP21764515
Anmeldetag: 2. März 2021
Veröffentlichung: 10. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B25J11/00B25J5/00B25J9/08B25J9/16B25J19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von