Laser Pedestal Control

WO2021180444 Art A1 16. September 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021180444
Aktenzeichen: EP21707219
Anmeldetag: 19. Februar 2021
Veröffentlichung: 16. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/117H01S3/00H05G2/00H01S3/10H01S3/107H01S3/115H01S3/13H01S3/136H01S3/16H01S3/223H01S3/106

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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