Leveling Sensor in Multiple Charged-Particle Beam Inspection

WO2021180473 Art A1 16. September 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021180473
Aktenzeichen: EP21708600
Anmeldetag: 25. Februar 2021
Veröffentlichung: 16. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01B11/06H01J37/21H01J37/22H01J37/26H01J37/28H01J37/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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