Flatness Measurement Unit

WO2021181906 Art A1 16. September 2021

Anmelder: MURATA MACHINERY, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021181906
Aktenzeichen: EP21767946
Anmeldetag: 21. Januar 2021
Veröffentlichung: 16. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B5/20G01B11/26G01B21/30H01L21/677H01L21/68H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MURATA MACHINERY, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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