Concentration measuring method, and concentration measuring device
WO2021182279
Art A1
16. September 2021
Anmelder: TOKUSHIMA UNIVERSITY, FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021182279
- Aktenzeichen
- EP21767148
- Anmeldetag
- 4. März 2021
- Veröffentlichung
- 16. September 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/33G01N21/3504G01N21/61
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKUSHIMA UNIVERSITY
FUJIKIN INCORPORATED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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