Laser amplification device and extreme ultraviolet light generation device

WO2021186508 Art A1 23. September 2021

Anmelder: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021186508
Aktenzeichen
EP20926120
Anmeldetag
16. März 2020
Veröffentlichung
23. September 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01S3/23G03F7/20H01S3/10H01S3/223
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

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