Mask blank, transfer mask, and method for manufacturing semiconductor device

WO2021187189 Art A1 23. September 2021

Anmelder: HOYA ELECTRONICS SINGAPORE PTE. LTD., HOYA CORPORATION 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021187189
Aktenzeichen: EP21772302
Anmeldetag: 8. März 2021
Veröffentlichung: 23. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32G03F1/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA ELECTRONICS SINGAPORE PTE. LTD.
HOYA CORPORATION
Land: 🇸🇬 Singapur

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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