Inner surface shape measurement apparatus, and alignment method for inner surface shape measurement apparatus

WO2021187192 Art A1 23. September 2021

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021187192
Aktenzeichen: EP21771291
Anmeldetag: 8. März 2021
Veröffentlichung: 23. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B5/20G01B7/28G01B11/00G01B11/24G01B21/00G01B21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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