Capacitance Manometer

WO2021188230 Art A1 23. September 2021

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021188230
Aktenzeichen: EP21772487
Anmeldetag: 9. Februar 2021
Veröffentlichung: 23. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01L9/00G01L9/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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