Rf reference measuring circuit for a direct drive system supplying power to generate plasma in a substrate processing system

WO2021188857 Art A1 23. September 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021188857
Aktenzeichen: EP21770899
Anmeldetag: 19. März 2021
Veröffentlichung: 23. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H03H7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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