Semiconductor etching method

WO2021190406 Art A1 30. September 2021

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021190406
Aktenzeichen
EP21774354
Anmeldetag
19. März 2021
Veröffentlichung
30. September 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/311H01L21/3065H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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