Optische Baugruppe, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung einer Optischen Baugruppe

WO2021190835 Art A1 30. September 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021190835
Aktenzeichen: EP21706928
Anmeldetag: 19. Februar 2021
Veröffentlichung: 30. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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