Light filtering device, optical microscope, and defect observation apparatus

WO2021192017 Art A1 30. September 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021192017
Aktenzeichen: EP20926386
Anmeldetag: 24. März 2020
Veröffentlichung: 30. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/02B81B3/00G01N21/956G02B21/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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