Electrostatic chuck device and sleeve for electrostatic chuck device

WO2021192935 Art A1 30. September 2021

Anmelder: TOMOEGAWA CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021192935
Aktenzeichen: EP21775646
Anmeldetag: 5. März 2021
Veröffentlichung: 30. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOMOEGAWA CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von