Workpiece chemical-mechanical polishing system, computation system, and method for generating simulation model of chemical-mechanical polishing

WO2021193063 Art A1 30. September 2021

Anmelder: EBARA CORPORATION, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKAI NATIONAL HIG, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KANAZAWA UNIVERSIT 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021193063
Aktenzeichen: EP21774719
Anmeldetag: 10. März 2021
Veröffentlichung: 30. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/005B24B53/017H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: EBARA CORPORATION
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKAI NATIONAL HIG
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KANAZAWA UNIVERSIT
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.512 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System

Die National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System ist ein japanischer Hochschulverbund mit medizinischem und naturwissenschaftlichem Forschungsschwerpunkt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Pharma-/Biotechnologie und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2019 bis 2025 reichen von Osteogenese-Fördermitteln bis zu Polymer-Elektrolytmembranen.

619 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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