Controller and control techniques for linear accelerator and ion implanter having linear accelarator

WO2021194655 Art A1 30. September 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021194655
Aktenzeichen: EP21776587
Anmeldetag: 11. Februar 2021
Veröffentlichung: 30. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H05H7/02H05H7/18H05H5/04H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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