Positioning devices for radially positioning substrates with respect to an air bearing device

WO2021194782 Art A1 30. September 2021

Anmelder: CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021194782
Aktenzeichen: EP21774041
Anmeldetag: 15. März 2021
Veröffentlichung: 30. September 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01L21/68G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CORNING INCORPORATED
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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