Systems and methods for forming structures on a surface

WO2021197838 Art A1 7. Oktober 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021197838
Aktenzeichen: EP21713597
Anmeldetag: 16. März 2021
Veröffentlichung: 7. Oktober 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01J37/305H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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